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台积电产线突发气体污染

 

据台湾《联合报》报道,台积电公司先进工序给苹果生产5nm芯片的重地的南科18a29日晚间传工序出状况,工厂内部分产线停摆,730日上午,供货商通通都被挡在厂区外不得入内。

据台湾《联合报》报道,之前有供应商透露,出状况的原因应该是该厂区的氧气供应受到污染,由于牵涉工序相当多,台积电729日晚至730日早上已忙成一团。台积电南科18a73012时举行生产会议证实,确实有部分来自厂商供应的氧气疑似受到污染,已实时调度其他气体供应,此次发生的状况对生产线并无造成显著影响。台积电表示正在密切监控后续发展,以确保生产质量不受影响芯片仍正常生产。

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    半导体从业者表示,半导体生产工序多达700多道,约有270道需使用氧气,包括蚀刻、物理及化学研磨,几乎都是核心工序;而且台积电18a厂处理的是目前台积电最先进的5纳米核心工序,目前的生产项目又是苹果下一代5G手机要用的核心处理器和美国超威半导体(AMD)的新一代处理器。半导体从从业者认为,此刻发生氧气污染,可能是直会中台积电要害,但预计台积电会全力排除相关问题,尽快让生产线恢复,详细影响还有待台积电进一步说明。

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